Локальное анодное окисление

Рассмотрим ещё один физико-химический процесс, который играет важную роль в нанотехнологии - это локальное анодное окисление.

Локальное анодное окисление представляет собой технологический процесс трансформации проводящих подложек путём их окисления в диэлектрические структуры с одновременной визуализацией и контролем формирующихся структур. На рис 3. 19. для примера показана схема процесса локального анодного окисления титановой подложки. В обычных атмосферных условиях поверхность образца, как правило, покрыта плёнкой из нескольких монослоёв адсорбата, основу которой составляет вода. В процессе стимулирования током зонда атомного силового микроскопа под зондом образуется мениск. Под острием формируется наноячейка, в которой происходят химические реакции, в результате чего в титановой подложке локально возникает анодный оксид. Толщина образующегося оксида зависит от приложенного напряжения и времени процесса. Таким образом, основными физическими факторами, определяющими процессы нанотехнологии, являются: локальные электрические поля, сравнимые с внутримолекулярными и атомными; сверхбольшие плотности токов до 10⁹ А/см и их электродинамическое воздействие; сверхплотные локальные потоки тепла, вызванные протекающими токами; возможны и внешние инициирующие воздействия.

3.5.3. Нанотехнологии на основе СТМ