Межэлектродный массоперенос

В пространстве между зондом и подложкой возможен межэлектродный массоперенос.

Межэлектродный массоперенос с нанометровым разрешением представляет собой технологический процесс создания наноразмерных элементов путём осаждения эмиссированных с острия зонда ионов. В основе процесса межэлектродного массопереноса лежит явление полевого испарения проводящих материалов под воздействием сильных электрических полей. Первоначально это явление использовалось в технике ионной микроскопии. Исследование этого явления позволило сделать вывод, что для получения электрических полей, достаточных для холодной эмиссии ионов, необходимо уменьшать радиус острия зонда. Это требование – одно из основных для зондов СТМ. Для получения нанометрового разрешения при массопереносе необходимо приближать зонд к подложке, что также согласуется с требованиями, предъявляемыми к СТМ. Требования, изложенные выше, являются естественными для СТМ, поэтому с помощью СТМ возможно получение дорожек, канавок, бугорков нанометрового размера. При этом в зависимости от знака потенциала, приложенного к подложке, возможно осаждение на поверхность или снятие с поверхности материала.

Для успешного осуществления массопереноса в туннельном микроскопе принципиальное значение имеет состояние острия зонда, которое можно в определённой мере формировать и поддерживать с нужными параметрами с помощью встречного электрического тока и наличия соответствующего электрического поля у острия.