Диаграммы процессов ЭЛО

1- зона термической обработки. Диаметр ЭЛ-1-1000мкм. Ускоряющее напряжение 20-150кВ;

2- зона размерной обработки. Диаметр ЭЛ 5-50мкм. Ускоряющее напряжение 20-200кВ;

3- зона сварки. Диаметр ЭЛ 0,01-5мм. Ускоряющее напряжение 15-175кВ;

4- зона плавки. Диаметр ЭЛ 10-100мм. Ускоряющее напряжение 15-40кВ.

1- зона плавки;

2- зона сварки;

3- зона размерной обработки.

a- угол сходимости ЭЛ. Происходит перемещение F по мере углубления канала. При этом происходит расфокусировка. Обычно ЭЛ углубляется в зоготовку, что позволяет повысить производительность до 30%.

Электронно-лучевая технология развивается в основном в трех направлениях: плавки и испарении в вакууме, сварки и прецизионной обработки. При плавке и испарении в вакууме для нанесения пленок и покрытий используют мощные (до нескольких МВт) электронно-лучевые печи при ускоряющем напряжении 20-30 кВ. Концентрация энергии здесь невелика - не более 10⁵ Вт/см².