Параметры электронного луча

ЭЛ является объемным источником теплоты. При прохождении ЭЛ через материал интенсивность его взаимодействия с атомами вещества изменяется по мере изменения энергии электронов на длине пробега. Длина пробега может достигать 50мкм.

Схема движения электронов в веществе

Для:

Al-----х_d <16мкм; у_d < 40мкм

W----- х_d <1,9мкм; у_d < 0,905мкм

1) Область рассеивания пучка на малые углы при столкновении;

2) Область диффузионного рассеивания электронов;

3) Область рассеивания на большие углы в направлении к поверхности.

К параметрам ЭЛ относят:

- силу тока ЭЛ- I_л – 10^-6 – 5А

- ускоряющее напряжение U – 20-200кВ;

- рабочее расстояние от центра фокусирующей системы до поверхности заготовки – F;

- скорость перемещения ЭЛ – V_л;

- удельная плотность мощности r_N = 10¹³ Вт/м²;

- диаметр ЭЛ –d_л =1мкм;

- мощность установки N =0,5 – 120кВт и более.