Список літератури. 1. Проценко І.Ю. Прилади та методи дослідження плівкових матеріалів: навч

1.. Проценко І.Ю. Прилади та методи дослідження плівкових матеріалів: навч. посібник з грифом МОНУ / І.Ю. Проценко, А.М. Чорноус, С.І. Проценко. – Суми: Вид-во СумДУ, 2007. – 264 с.

2. Бібик В.В. Фізика твердого тіла: навч. посібник з грифом МОНУ/ В.В.Бібик, Т.М.Гричановська, Л.В.Однодворець, Н.І.Шумакова. – Суми: Вид-во СумДУ, 2009. – 200 с.

3. Иродов И.Е. Задачи по квантовой физике. – М.: Высшая школа, 1991. – С. 65-68.

4. Бадіян Є.Ю. Практична кристалографія: навчальний посібник. – Харків: ХНУ ім. В.Н.Каразіна, 2010. – 144 с.

Заняття 4. Семінар на тему “Основи методу рентгенівського мікроаналізу”

Запитання семінару

1. Фізичні основи рентгенівського мікроаналізу.

2. Якісний рентгенівський мікроаналіз на основі спектрометра з дисперсією по енергії та кристал-дифракційного спектрометра.

3. Метод трьох поправок кількісного мікроаналіза (метод Кастена).

4. Аналіз вільних плівок (фольг) за методом Кліффа і Ларімера.

5. Аналіз плівок та покриттів на підкладках

Методичні вказівки. При підготовці до семінару необхідно звернути увагу на такі моменти.

1. При якісному мікроаналізі за допомогою спектрометра з дисперсією по енергії на ЕОМ подаються сигнали K-, L- або M-серій, які порівнюються за висотою та кутовою відстанню. Необхідно за допомогою діаграми для енергетичних рівнів атома пояснити походження ліній K_α, K_β, K_γ; L_α, L_β і т.д. При аналізі за допомогою кристал-дифракційного спектрометра визначаються кути , які задовольняють умову Бреггів

,

де λ – довжина хвилі λ_Kα, λ_Kβ, λ_Kγ і т.д.

2. Кількісний аналіз за своїми фізичними основами набагато складніший порівняно з якісним мікроаналізом. В основі його лежать рівняння Кастена в найбільш загальному вигляді, а також у першому і другому наближеннях. Узагальненням цих рівнянь є рівняння, на якому ґрунтується метод трьох поправок:

,

де і - інтенсивність рентгенівського випромінювання від зразка і еталона.

Необхідно пояснити якісно суть методу розрахунків факторів Z, A та F.

3. При аналізі складу вільної плівки (фольги) три фактори помітної ролі не відіграють і тому можна застосовувати метод відносної чутливості Кліффа та Лорімера. Треба мати на увазі, що в цьому випадку використовується порівняльний елемент (наприклад, Si), що значно спрощує аналіз. Але при аналізі плівок (покриттів) на підкладках метод Кліффа та Лорімера не придатний. Ті методи, які застосовуються в цьому випадку (моделювання, теоретичні розрахунки і т.д.), набагато складніші порівняно із попереднім методом.

4. Необхідно звернути увагу на питання ідентифікації елементів та підготовку і використання еталонів у рентгенівському мікроаналізі.