Характеристики систем для розпилення Вид системи для розпилення
Робочий тиск, Па
Робоча напруга, кВ
Сила іонного струму, А
Потужність, що підводиться до системи, кВт
Коефіцієнт перетворювання потужності
Енергетична ефективність (по міді), 10-9 кг/Дж
Енергія іонів, що бомбардують, кеВ
процесу розпилення
Системи що розпилює
діодна на постійному струмі
1,3...13
3...5
0,5...0,8
2...5
0,5...0,6
0,9...1,4
0,5...0,7
2...3,5
діодна ВЧ
0,6...6,6
1...2 (амплітуда)
1...2
3...5
0,3...0,6
1,6...2,5
0,5...1
0,7...1,5
тріодна
(0,6...6,6) x10-1
1...2
3...5
10...15
0,3...0,7
1,4...2,1
0,6...1
1...2
тріодна з локалізацією плазми магнітним полем
(1,3...13)х10-2
1...2
10...15
35...40
0,3...0,7
1,4...2,1
0,6...1
1...2
з автономним іонним джерелом
(0,6...6,6) х10-1 у джерелі
(1,3...13)х10-2
1...3
0,2...0",5
8...10
0,03...0,15
1...2,1
0,06...0,15
1...3
магнетронна ВЧ
(1,3...6,6) х10-1
0,7...1 (амплітуда)
2...4
3...5
0,3...0,6
2,5...3
0,9...1,5
0,5...0,7
магнетронна на постійному струмі
(1,3...6,6) х10-1
0,4...0,8
15...20
8...15
0,6...0,7
3...3,8
2,1...2,3
0,3...0,5
Рис. 4 Зовнішній вигляд агрегату
Рис. 5 Магнетронна система розпилення
Рис. 6 Вакуумна система 1 ‑ механічний насос НВР-5Д. 2 ‑ рукоятка нижнього клапану, 3 ‑ рукоятка верхнього клапану, 4 ‑ електромагнітний натікач, 5 ‑ клапанна коробка, 6 ‑ натікач для швидкого напуску повітря, 7 ‑ дифузійний паромасляний насос, 8 ‑ трубопроводи, 9-затвор.
Рис. 7 Схема блоку живлення
Дата публикования: 2015-09-18 ; Прочитано: 174 | Нарушение авторского права страницы | Мы поможем в написании вашей работы!
studopedia.org - Студопедия.Орг - 2014-2024 год. Студопедия не является автором материалов, которые размещены. Но предоставляет возможность бесплатного использования
(0.006 с) ... 
