Стационарные границы

ЧИСЛЕННАЯ РЕАЛИЗАЦИЯ ФИЗИЧЕСКИХ МОДЕЛЕЙ

Технологических ОПЕРАЦИЙ В ПРОГРАММЕ SUPREM II

Стационарные границы

Пространство, в котором решается уравнение непрерывности перераспределения примеси (1.9), разбивается на дискретные ячейки. Рассматривается концентрация примеси C(y), в точке, лежащей на середине каждой дискретной ячейки. На рис.2.1 показана такая пространственная дискретизация.

Например, для ячейки i=6 дискретное уравнение непрерывности (при пренебрежении членами, описывающими генерацию и потери) записывается следующим образом

, (2.1)

где F_D(Y_6.5) и F_D(Y_5.5) - потоки примесей на правой и левой границах ячейки N6, а Q₆ - концентрация примеси в 6-й ячейке. Для любой i-й ячейки, не лежащей на пространственной границе, уравнение непрерывности, дискретизированное по пространству, выглядит следующим образом

, (2.2)

где F_D рассчитывается на границе ячейки из уравнения (1.12), а Q_i задается выражением