Главная Случайная страница Контакты | Мы поможем в написании вашей работы! | ||
|
, , ,
Таблица 1.1. Требуемые параметры всей схемы и базисных элементов
Технологический базис | , | |||||||
Таблица 1.2. Параметры межсоединений в различных технологических базисах
Технологический базис | ПолиSi, hM, мкм | ПолиSi, TOK,мкм | Металл hM, мкм | Металл TOK,мкм | ПолиSi, wM, l | Металл wM, l | dox, нм |
ES2 0.7mkm-2Metal, UИП=5В | 0.5 | 0.4 | 0.6 | 1.1 |
Дата публикования: 2014-11-03; Прочитано: 405 | Нарушение авторского права страницы