Список літератури. 1. Лобода В.Б. Исследование электрических свойств тонких пленок хрома и скандия / В.Б

1. Лобода В.Б. Исследование электрических свойств тонких пленок хрома и скандия / В.Б. Лобода, И.Е. Проценко, В.Г. Шамоня // УФЖ. – 1982. – Т. 27, № 9. – С. 1343-1349.

2. Проценко И.Е. Расчет параметров электропереноса тонких поликристаллических пленок металлов // Изв. вузов. Физика. – 1988. – № 6. – С. 42-47.

3. Проценко І.Ю. Тонкі металеві плівки (технологія та властивості): навч. посібник з грифом МОНУ / І.Ю.Проценко, В.А. Саєнко. – Суми: СумДУ, 2002. – 187 с.

Заняття 6. Семінар на тему «Електрофізичні властивості тонких металевих плівок»

Питання семінару

1. Фізичні причини виникнення розмірних ефектів в електрофізичних властивостях тонких плівок.

2. Елементи теорії Фукса-Зондгеймера для розмірного ефекту в електропровідності тонких плівок.

3. Недоліки теорії Фукса-Зондгеймера.

4. Елементи теорії Тельє, Тоссе і Пішар:

- модель ефективної довжини вільного пробігу носіїв електричного струму;

- модель ізотропного розсіювання носіїв електричного струму.

5. У чому полягає важливість дослідження розмірного ефекту в електропровідності та ТКО тонких металевих плівок?

Методичні вказівки. У процесі підготовки до семінару необхідно звернути увагу такі моменти.

1. Розмірні явища в електрофізичних властивостях виникають у зв’язку з розсіюванням носіїв електричного струму (в загальному випадку – електронів та дірок, в нашому випадку – електронів) на зовнішніх поверхнях плівки (це дві поверхні на межі плівка/вакуум та плівка/підкладка) та на межі кристалічних зерен.

2. Теорія Фукса-Зондгеймера побудована для вільних монокристалічних плівок, але співвідношення для граничних випадків (див. методичні вказівки до заняття 4) можна застосувати і для полікристалічних плівок з тим більшою точністю, чим більші розміри кристалітів.

3. Теоретичні моделі Тельє, Тоссе і Пішар враховують не тільки розсіювання носіїв на поверхні плівки, але і на межах кристалітів. Для цього вводиться функція розсіювання носіїв електричного струму на межі кристалітів та відповідного параметра . Відповідні теоретичні співвідношення наведені в методичних вказівках до заняття 5.