Порядок виконання роботи. 1. Підготувати підкладку, прилади для вимірювання температури і опору плівки та нагрівник підкладки

1. Підготувати підкладку, прилади для вимірювання температури і опору плівки та нагрівник підкладки.

2. Провести конденсацію плівки при температурі підкладки Т_п = 300 К та термообробку з постійною швидкістю нагрівання і охолодження (від 5 до 10 К/хв.), фіксуючи час (t_i) та відповідну температуру (T_i) через ∆Т = 10-20 К.

3. Побудувати залежність r(T) для усіх циклів термообробки, провести її графічне диференціювання.

4. Побудувати розрахункову залежність функції розподілу , визначити E_m.

5. Звіт до лабораторної роботи повинен включати експериментальну залежність R[T(t)] для проведених термоциклів «нагрівання «охолодження» і розрахункову залежність функції розподілу дефектів у плівці F₀(E).

Контрольні запитання

1. Яка причина утворення дефектів кристалічної будови у сконденсованих плівках?

2. Чому при відпалюванні відбувається заліковування дефектів?

3. У чому полягає суть методики Венда визначення енергії активації заліковування дефектів?