Проценко І.Ю

І.Ю. Проценко, Л.В. Однодворець

ТЕХНОЛОГІЯ ОДЕРЖАННЯ І ФІЗИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ ПЛІВКОВИХ МАТЕРІАЛІВ ТА ОСНОВИ МІКРОЕЛЕКТРОНІКИ (практикуми)

Навчальний посібник

Рекомендовано вченою радою Сумського державного університету

Суми

Сумський державний університет

УДК 621.793.385.+538.975

ББК 35.719.4я73

П 84

Рецензенти:

О.Г.Багмут - доктор фізико-математичних наук, професор

Національного технічного університету «ХПІ», м.Харків;

В.М. Береснєв - доктор технічних наук, професор

Харківського національного університету ім. В.Н.Каразіна, м.Харків;

О.Д. Погребняк - доктор фізико-математичних наук, професор Сумського державного університету

Рекомендовано вченою радою Сумського державного університету

як навчальний посібник

(протокол №5 від 14.10.2010 р.)

Проценко І.Ю.

П 84 Технологія одержання і фізичні властивості плівкових матеріалів та основи мікроелектроніки (практикуми): навчальний посібник / І.Ю.Проценко, Л.В.Однодворець. - Суми: Сумський державний університет, 2011.-231 с.

ISBN 978-966-657-336-3 Сумський державний університет

У навчальному посібнику подані навчально-методичні матеріали і завдання до виконання циклу лабораторних практикумів «Технологія тонких плівок», «Фізичні властивості плівкових матеріалів», «Прилади і методи дослідження плівкових матеріалів» і «Основи опто- і мікроелектроніки» та проведення практичних і семінарських занять із курсів «Технологія наноструктурованих матеріалів», «Фізичні властивості плівкових матеріалів», «Прилади і методи дослідження плівкових матеріалів», «Датчики неелектричних величин» та «Основи мікроелектроніки».

Навчальний посібник призначено для студентів вищих навчальних закладів денної і заочної форм навчання за напрямами «Електронні пристрої та системи» та «Мікро- і наноелектроніка».

УДК 621.793.385.+538.975