Список літератури. 1. Мейксин З.Г. Несплошные и керметные пленки / Физика тонких пленок, том VIII

1. Мейксин З.Г. Несплошные и керметные пленки / Физика тонких пленок, том VIII. – М.: Мир, 1978. – С. 106-179.

2. Петренко С.В. Эффект тензочувствительности в дисперсних металлических пленках/ С.В. Петренко, И.Е. Проценко, В.Г. Шамоня //Металлы.–1989. – № 1. – С. 180-186.

3. Проценко І.Ю. Тонкі металеві плівки (технологія та властивості): навч. посібник з грифом МОНУ / І.Ю.Проценко, В.А. Саєнко. – Суми: СумДУ, 2002. – 187 с.

Заняття 9. Семінар на тему «Тензочутливість металевих плівок»

Питання семінару

1. Огляд теоретичних моделей явища тензочутливості.

2. Методика вимірювання коефіцієнтів тензочутливості.

3. Основні закономірності тензоефекту в одношарових плівках.

4. Де можна застосувати тензодатчики на основі металевих плівок?

Методичні вказівки. У процесі підготовки до семінару необхідно звернути увагу на такі моменти:

1. Теоретична модель Фукса-Зондгеймера історично була першою, тому має такі недоліки:

а) її можна застосувати до монокристалічних (у крайньому разі, до великокристалічних) структурно-суцільних зразків;

б) застосування цієї моделі до несуцільних або електрично-суцільних плівок методично необґрунтовано;

в) у зв’язку з тим, що модель враховує лише поверхневе розсіювання носіїв електричного струму, вона не узгоджується з експериментальними результатами для полікристалічних плівок.

2. Більш досконалою теоретичною моделлю є модель ефективної довжини вільного пробігу Тельє, Тоссе і Пішар, яка побудована на основі відповідної моделі електропровідності (див. співвідношення (1) у методичних вказівках до заняття 5). У зв’язку з тим, що в основі останньої моделі лежить ідея Майадаса і Шатцкеса про розсіювання носіїв електричного струму на межі кристалітів, часто модель ефективної довжини вільного пробігу для тензочутливості називають моделлю Майадаса і Шатцкеса. Прийнято вважати, що основними співвідношеннями цієї моделі є такі (їх називають лінеаризованими):

; (1)

,

де μ_s – коефіцієнт Пуассона для підкладки, ; g (α) = α; , – відомі функції.

3. У зв’язку з тим, що попередня модель обмежена в застосуванні умовою L ≥ d, Тельє, Тоссе і Пішар на основі своєї т.зв. тривимірної теорії електропровідності тонких плівок розробили відповідну модель тензочутливості, яка узгоджується з експериментальними результатами для плівок із довільним співвідношенням між L та d, але за додаткової умови η_l та η_t є розмірно-залежними параметрами.

4. Розглядаючи питання про основні закономірності тензоефекту в одношарових плівках, необхідно звернути увагу на такі моменти:

а) залежність коефіцієнтів та від числа деформаційних циклів; чому після декількох циклів та не змінюються?

б) причина виникнення залишкової деформації;

в) залежність від товщини плівки, співвідношення величин та ;

г) проблема стабільності плівкових тензодатчиків;

д) причина залежності величин та від методу деформації плівки.

5. При розгляді елементарної теорії тензоефекту в двошарових плівках звернути увагу на ту обставину, що основна причина поганого узгодження з експериментальними результатами пов’язана із процесами взаємної дифузії атомів.