Список літератури. 1. Мадер С. Исследование структуры пленок / Технология тонких пленок: Справочник

1. Мадер С. Исследование структуры пленок / Технология тонких пленок: Справочник. Т. 2 / Под ред. Л.Майссела и Р.Глэнга. – М.: Сов. радио, 1977. - С.86-90.

2. Проценко І.Ю., Чорноус А.М., Проценко С.І. Прилади і методи дослідження плівкових матеріалів: навч. посібник/ І.Ю.Проценко, А.М.Чорноус, С.І. Проценко. – Суми: Вид-во СумДУ, 2007. – 264 с.

3. Томас Г. Просвечивающая электронная микроскопия материалов / Г. Томас, М. Дж. Гориндж.- М.: Наука, 1983.- 320 с.

4. Горелик С.С. Рентгенографический и электронно-оптический анализ / С.С. Горелик, Л.Н. Расторгуев, Ю.Н. Скаков.- М.: Металлургия, 1980.- 368 с.

5. Структура і фізичні властивості твердого тіла / За ред. Л.С. Палатника. - Київ: Вища школа, 1992.- С.116-122.

Лабораторна робота 2

ЕЛЕКТРОНОГРАФІЧНЕ ДОСЛІДЖЕННЯ КРИСТАЛІЧНОЇ СТРУКТУРИ ТОНКИХ МЕТАЛЕВИХ ПЛІВОК З КУБІЧНОЮ РЕШІТКОЮ

Мета роботи – вивчити принцип роботи електронографа (електронного мікроскопа в режимі дифракції), методику одержання та розшифрування електронограм від полікристалічних зразків металів кубічної сингонії.

Елементи теорії. У лабораторній роботі 1 було одержано співвідношення для довжини хвилі електрона

,

де вимірюється в Å, а U – у вольтах.

Таблиця 1 дає уявлення про те, яким чином буде змінюватися довжина хвилі електрона при різних прискорюючи напругах.

У зв’язку із хвильовими властивостями електрони, як і фотони, можуть утворювати інтерференційні картини. Завдяки цьому і вдалося створити електронні мікроскопи та електронографи.

Електронограф (або електронний мікроскоп у режимі дифракції) призначений для одержання картин дифракції (електронограм) від зразків малої товщини (до 200 нм) на проходження або будь-якої товщини на відбиття електронів Незважаючи на те, що точність визначення періоду кристалічної решітки за електронограмою невелика (0,01-0,005Å) порівняно з точністю, яка досягається рентгенографічним методом, перевага електронографії в тому, що за допомогою неї можна досліджувати тонкі зразки.

Таблиця 1 - Залежність від U

U, B	V, км/с	, Å
		12,260 0,388 0,054 0,037 0,020 0,009

Принципова схема електронографа зображена на рис.1. Він включає в себе колону, яка має таку саму будову, як і в електронного мікроскопа, але працює з однією або двома лінзами; вакуумну частину, яка включає в себе насоси, вловлювачі пари дифузійних мастил, індикатор вакууму, вакуум-проводи і систему вакуумної комутації; блок електричного живлення.

В основі методу розшифрування електронограми лежать п’ять співвідношень, які будуть наведені нижче. Перше співвідношення пов’язує кут розсіювання з довжиною хвилі та міжплощинними відстанями (закон Бреггів):

, (1)

де d_hkl - міжплощинна відстань (hkl – індекси Міллера); n – порядок відбиття хвилі (в електронографії n =1).

Друге співвідношення пов’язує між собою діаметр дифракційного кільця з так званою сталою приладу. Одержати це співвідношення можна за допомогою рис.2. У зв’язку з тим, що кути Θ мають малу величину (2 – 4°), можна записати

.

Рисунок 1 - Принципова схема електронографа: 1 – електронна гармата; 2 - катод; 3 – магнітна лінза; 4 – об’єкт дослідження; 5 – екран; D – діаметр кільця

Із (1) визначаємо 2Θ як відношення . Звідси

або (2)

Величина одержала назву сталої приладу:

. (2')

Її можна визначити за допомогою електронограми від еталонного зразка (це плівки Al, Au, Ag, NaCl, TlCl, MgO) з відомими міжплощинними відстанями. Знаючи С, ми можемо знайти d_hkl для невідомого зразка та визначити тип і параметри решітки.

Методичні вказівки. Для визначення величини С необхідно заміряти якомога точніше (±0,1 мм) діаметри кілець на електронограмі від еталона. Одержані результати необхідно занести до таблиці 2.

Рисунок 2 – Схема утворення електронограми

Для розрахунків електронограм від невідомого зразка необхідно скористатися третім, четвертим та п’ятим рівняннями електронографії. Третім рівнянням може бути т.зв. квадратична форма, яка у випадку кубічної сингонії має такий вигляд:

. (3)

Звідси випливають четверте і п’яте співвідношення електронографії

.(4)

. (5)

З таблиці 4 видно, що у ОЦК-решітки сума є парним числом, а в ГЦК-решітки h, k, l повинні бути або всі парні, або непарні.

Таблиця 2 - Визначення сталої приладу

Еталон: Al Прискорююча напруга:_______ кВ.

№	D, мм *	hkl	d hkl, Å [1]	C=D·d, мм·Å
D 1	D 2	D сер
					2,338 2,025 1,432 1,221
Cсер = мм·Å

*) D₁ та D₂ – діаметри кілець у двох взаємно перпендикулярних напрямках.

Рисисунок 3 – Схема електронограм для кристалів кубічної сингонії: а – ПК; б – ОЦК; в – ГЦК

Таблиця 3 - Розрахунок електронограми від кристала кубічної сингонії. Стала приладу:_________ мм·Å. Прискорююча напруга:_________ кВ

	І *), відн. од.	D, мм	dhkl, Å	h2+k2+l2	hkl	a, Å	Δa, Å
D1	D2	Dсер

*) Відносна інтенсивність ліній визначається візуально з використанням таких позначень:ДС – дуже сильна; С – сильна; Сер – середня; Сл – слабка; Д.сл – дуже слабка.

Таблиця 4 - Індекси ліній електронограм від кристалів кубічної сингонії